伺服閥作為伺服控制系統中的一種核心伺服控制元件，已經被廣泛應用于許多國民生活的各個領域。伺服閥的閥芯噴嘴是伺服閥中的關鍵零件，閥芯噴嘴的通道表面質量往往直接影響到伺服閥的整個使用性能，目前傳統的加工工藝方法無法保證其質量及合格率。而磨粒流拋光技術為改善伺服閥閥芯噴嘴的內表面質量提供了有效的技術方案，對伺服閥閥芯噴嘴的磨粒流拋光技術的研究分析具有重要的理論意義和工程應用價值。

一般閥芯噴嘴零件的尺寸比較小，在使用的過程中要求很高的尺寸精度和高形位精度，流道表面還需要表面粗糙度值小等，一般傳統的加工工藝方法很難實現閥芯噴嘴的使用要求。而且閥芯噴嘴處小孔的表面質量會直接影響伺服閥的使用性能，當噴嘴體小孔的內壁存在毛刺現象、不夠光滑或是殘留污染物時，就容易造成閥芯噴嘴射流散射和螺旋，或是導致噴嘴體容易堵塞，對整個伺服閥控制系統造成嚴重的損害。

所以提高閥芯噴嘴體小孔的表面質量，進行噴嘴體小孔精密光整加工具有非常重要的意義。

目前來說，微小孔所采用的加工方法一般有傳統加工、激光打孔、電火花加工、電化學加工等加工工藝方法，經過加工之后，零件的加工質量一般難以達到零部件的高精度使用要求，還需要對零部件進行進---步的精密拋光加工。在機械相關的加工領域中，精密拋光加工存在著很多方法，使用較為廣泛的是超聲波拋光技術、磨粒流拋光技術、電化學機械復合加工技術、化學拋光加工技術等。其中，磨粒流拋光技術有很好的研磨拋光能力，尤其是對復雜零件內表面、微小通道內的精密拋光加工，以及零件內部隱蔽部位的孔及型腔、模具的復雜曲面等精密光整加工，因此改善伺服閥閥芯噴嘴的流道表面質量可以采用磨粒流拋光技術。

磨粒流拋光工藝是一種經濟有效的新型精密光整加工工藝，磨粒流拋光技術具備了許多加工優點，例如拋光效率高、自動化生產、好的可控制性能、拋光表面質量高等。與傳統的機械加工方法比較，磨粒流拋光技術可以利用磨料介質的流動性對復雜結構的孔及型腔深孔進行拋光加工，還可以根據零件的應用要求，選取不同的磨料介質對零件進行拋光，從而獲取不同的拋光效果來滿足零件的要求。

磨粒流拋光工藝主要包括了磨粒流拋光機床、配置的研磨磨料和用于固定被加工零件的夾具，是通過研磨磨料來去除零件被加工表面的材料，以此進行零部件的精密拋光，磨粒流拋光機床如圖1所示。

圖1磨粒流加工機床示意圖

在磨粒流研磨拋光過程中,工件夾具和工件之間的配合下形成了磨粒流拋光通道,通過外界壓力的作用下，將含有磨粒的黏彈性液態磨料壓入加工通道中，磨料反復地對通道表面或邊角(即零件的被加工表面)進行研磨，實現了拋光、倒角作用，以此來實現對加工表面的拋光、光整加工，磨粒流拋光原理圖如圖2所示。

磨粒流拋光機理是把磨粒流加工介質內磨粒看作無數的切削刀具，利用磨粒的不規則堅硬棱角反復磨削加工介質所流經的零件被加工表面，從而實現零件表面的精加工。由磨粒流微磨削拋光機理的研究可知，磨粒流微磨削加工通道內表面時主要是徑向力和剪切應力的支配，磨粒介質受到載荷應力的支配，將不規則的硬質磨料顆粒壓入待加工表面中，當產生相對滑動時，磨粒在加工通道內產生微磨削，使零件的表面材料脫落